有些真空工藝會發(fā)作許多的塵土，假如塵土隨被抽氣體進(jìn)入油封真空泵內(nèi)混在泵油中，會像研磨劑一樣加速泵腔內(nèi)零件的磨損，對泵轉(zhuǎn)子和泵腔構(gòu)成磨損和破壞，堵塞油路或使泵無法作業(yè)，假如塵土進(jìn)入真空閥門則會使密封失效而走漏，因此塵土的躲避和過濾己成為添加方形真空腔體的運用壽命，添加生產(chǎn)率的關(guān)鍵問題，在有塵土的腔體制造中，要選用塵土過濾器。

在塵土量較少時，能夠由泵油過濾系統(tǒng)濾除，但塵土量較大時，為不讓真空泵損壞，讓真空泵的正常作業(yè)要運用除塵器。常用精細(xì)腔體制造塵土過濾方法有以下幾種：

（1）旋風(fēng)離心式。進(jìn)氣口與筒體成偏疼放置，塵土隨氣流旋轉(zhuǎn)，因離心力作用而沉降在過濾器的底部。

（2）油淋式。在油泵的作用下，使真空泵油從除塵器的頂部高速噴下，油霧與上升的氣流互相作用吸附，混在氣流中的塵土與油一起沉降至油池。

（3）油濕介質(zhì)粘附式。塵土在氣流作用下磕碰用真空泵油浸濕的介質(zhì)表面而被粘附，常用介質(zhì)有環(huán)狀或顆粒狀陶瓷、金屬絲條等。

（4）介質(zhì)阻遏式。運用介質(zhì)的機械阻遏作用過濾塵土，常用介質(zhì)有金屬絲網(wǎng)、天然或合成纖維、多孔金屬、多孔塑料等。

（5）靜電吸附式。運用真空中氣輝光放電構(gòu)成等離子體，塵土在等離子體中附著電荷，在電場力作用下被驅(qū)向電極表面而被捕集。

（6）混合式。將以上幾種過濾方法進(jìn)行組合構(gòu)成混合的過濾方法。

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