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不銹鋼真空腔體
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半導(dǎo)體真空腔體的應(yīng)用

2020-09-18

半導(dǎo)體真空腔體的使用

等離子清洗機(jī)又稱等離子清潔機(jī),離子外表處理儀,是一種全新的高科技技能,使用等離子體來到達(dá)常規(guī)清洗辦法無法到達(dá)的作用.等離子體的“活性”組分包含:離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等.等離子清潔機(jī)就是經(jīng)過使用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品外表,然后實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的.

在鋁合金腔體里,經(jīng)過射頻電源在必定的壓力情況下會(huì)發(fā)生高能量的無序的等離子體,經(jīng)過等離子體炮擊被清洗產(chǎn)品外表.以到達(dá)清洗目的.

等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)首要分為三個(gè)大的部分組成,分別是操控單元、真空腔體以及真空泵

一、操控單元

國內(nèi)使用的等離子清洗機(jī),包含國外進(jìn)口的,操控單元首要分為全自動(dòng)操控、半自動(dòng)操控、PC電腦操控、液晶觸摸屏操控四種方式.

其間操控單元又分為兩部分:

1.電源部分:首要電源頻率有三種,分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz,其間13.56MHz是需求電源匹配器的.

2.系統(tǒng)操控單元:按鈕操控(半自動(dòng)、全自動(dòng))、電腦操控、PLC操控(液晶觸摸屏操控).

二、真空腔體:

真空腔體首要是分為兩種原料的:

1.不銹鋼真空腔體

2.鋁合金腔體

三、真空泵:

方形真空腔體分為兩種:

1.干泵

2.油泵



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